Embedded Technology 2014
ET 2014 dates
IoTでビジネスが変わる! 組込み技術が進化する!成長分野を支える最先端技術とソリューションをアピール
Voxel法による 3D 形状シミュレーションと高精度LCR抽出による新たな半導体設計フレームワーク プロセス設計、デバイス設計、回路設計の高度な連携のために

近年の半導体形状の複雑化・3次元化により、プロセス形状シミュレーションの重要性が増してきている。

そこで本講演では、3次元複雑形状と相性の良いVoxel法を用いたプロセス形状シミュレーションと、有限体積法静電解析によるLCRの抽出をおこなうことで、プロセス設計、デバイス設計、回路設計を統合的に連携させる、新たな半導体設計フレームワークの提案をおこなう。

[講師]武藤 雅基 氏 株式会社NTTデータ数理システム科学技術部主任研究員

[プロフィール] 2004年電気通信大学修士課程修了。同年、株式会社数理システムに入社し、以来、半導体プロセスシミュレータの開発を担当する。

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